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MEMS晶圓是怎么切割的？
MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）即微電子機(jī)械系統(tǒng)，一般由微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微傳感器、微執(zhí)行器和控制電路組成，MEMS是通過半導(dǎo)體工藝實(shí)現(xiàn)不同能量形式之間的轉(zhuǎn)換的一種芯片。根據(jù)能量轉(zhuǎn)換...
2020-07-10 -
2019年度中國光學(xué)元器件行業(yè)發(fā)展概況
光學(xué)行業(yè)總體發(fā)展情況據(jù)中國光學(xué)光電子行業(yè)協(xié)會(huì)光學(xué)元件與儀器分會(huì)不完全統(tǒng)計(jì)，2019年度光學(xué)元器件行業(yè)實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入約1500億元人民幣，同比增長30%以上。中國境內(nèi)從事光學(xué)材料、光學(xué)鏡片及鏡頭...
2020-07-09 -
中科院研發(fā)新型激光光刻技術(shù)：不用EUV 直擊5nm
荷蘭ASML公司是全球唯一能生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的公司，他們之前表態(tài)7nm以下工藝都需要EUV光刻機(jī)才行?，F(xiàn)在中科院蘇州納米所的團(tuán)隊(duì)開發(fā)了一種新的激光光刻技術(shù)，不需要使用EUV技術(shù)就可以制備出5nm特征...
2020-07-09 -
上海光機(jī)所在光纖鎖模激光器信噪比提升技術(shù)方面取得新進(jìn)展
中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光物理聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室在光纖鎖模激光器信噪比提升技術(shù)上取得新進(jìn)展，提出一種基于Lyot濾波效應(yīng)的非線性相移抑制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了光纖鎖模激光器信噪比（SN...
2020-07-08 -
用于高功率激光應(yīng)用的襯底雕刻抗反射納米結(jié)構(gòu)表面
撰稿人 |Haes Lin論文題目 | 用于高功率激光應(yīng)用的襯底雕刻抗反射納米結(jié)構(gòu)表面Substrate-engraved antireflective nanostructured surfaces for high-power laser applications作者 |Nathan J....
2020-07-08 -
蘇州納米所在超高精度激光光刻技術(shù)上取得重要進(jìn)展
亞10 nm的結(jié)構(gòu)在集成電路、光子芯片、微納傳感、光電芯片、納米器件等技術(shù)領(lǐng)域有著巨大的應(yīng)用需求（圖1），這對(duì)微納加工的效率和精度提出了許多新的挑戰(zhàn)。激光直寫作為一種高性價(jià)比的光刻技術(shù)，...
2020-07-07 -
上海光機(jī)所研究員提出基于激光加速的新型自旋過濾器
中科院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所強(qiáng)場(chǎng)激光物理國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研究團(tuán)隊(duì)提出了一種基于尾場(chǎng)空泡加速的自旋過濾器，利用該方案有望實(shí)現(xiàn)全光驅(qū)動(dòng)的緊湊高能極化電子源。相關(guān)研究成果近日發(fā)表于《應(yīng)用物...
2020-07-06 -
激光技術(shù)將纖維素轉(zhuǎn)化為生物燃料
能源短缺問題是長期困擾人類社會(huì)發(fā)展的主要問題之一，據(jù)預(yù)測(cè)，地球上蘊(yùn)藏的可供開發(fā)利用的煤和石油化石能源將分別在200年、30～40年內(nèi)耗竭，而天然氣按儲(chǔ)采比也只能利用60年。同時(shí)，煤、石油、...
2020-07-03
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