日本電信電話公司（NTT）與日本東北大學共同實現(xiàn)了通過照射激光降低MEMS機械振蕩器熱噪聲的“激光冷卻方法”。MEMS振蕩器主要用于傳感器和信號發(fā)射器等，此次的技術有望提高其精度。
“激光冷卻”是一種通過照射激光讓對象物釋放能量使其冷卻的方法。此次，研究人員利用晶體生長技術實現(xiàn)了光學特性和壓電特性優(yōu)異的砷化鎵（GaAs）及砷化鋁鎵（AlGaAs）各200nm厚的半導體二層構造，利用微細加工技術加工成了機械振蕩器。憑借靈敏的光吸收特性，只吸收特定波長的光，把此時產(chǎn)生的內(nèi)部電壓作為對熱振動的制動力使用，從而降低了熱噪聲。
此次制作的機械振蕩器是長20μm、寬14μm、厚0.4μm的板彈簧狀。只需向振蕩器的根部照射激光，就能將熱振動減半。
以前，激光冷卻需要利用精密的光共振器。而此次的方法無需光共振器，還可以作為半導體集成元件使用。今后NTT和東北大學還將進一步推進研究，以提高冷卻效果、實現(xiàn)與激光元件的集成以及室溫下工作等。
此次取得的成果刊登在了《Nature Communications》電子版（10月19日）上
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