產品特點

l ?  非接觸閉式氣浮結構                                              ?  行程50~200mm可選

l ?  重復定位精度±75nm                                         ? 全行程直線度0.1μm

l ?  優(yōu)化線纜管理                                                          ?  可定制化設計

應用領域

QFUZ系列是一款側掛在大理石橫梁上的精密氣浮Z軸，閉式氣浮結構，剛度大，用于飛秒激光加工、測試測量、半導體及光子學等行業(yè)。

結構特點

精密氣浮Z軸閉式氣浮結構，氣浮導軌四面均勻受力，對于一些大體積、大負載在氣浮導軌上不均勻分布的應用，更能突出性能優(yōu)勢，行程50~275mm可選。配置無摩擦重力平衡氣缸，有效地抵消電機向上持續(xù)輸出力，提升精度性能，同時斷使能后負載不會受重力影響而向下脫落。

精密性能

氣浮導軌實現無摩擦地平滑移動，與摩擦式導軌相比，氣浮的非接觸式結構，使直線度、平面度、Pitch Yaw、跟隨誤差、定位精度和重復定位精度得到提高 。

線纜管理

使用高質量帶屏蔽的線纜，管線彎曲半徑更小，能夠防止電子信號的干擾，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮運動臺的性能，以確保無故障操作。

定制化

可定制陶瓷材質氣浮導軌，重復定位精度±15nm；定制最大加速度5m/s2；行程也可接受定制。

規(guī)格指標

注：

以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環(huán)境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。

4. 空載條件下的指標，最大速度和加速度取決于負載大小。

5. 為保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。