近日，廈門大學(xué)薩本棟微米納米科學(xué)技術(shù)研究院周偉教授團隊與香港理工大學(xué)超精密加工技術(shù)全國重點實驗室Chi Fai Cheung（張志輝）教授、王春錦助理教授合作，在透明聚合物材料高精度三維微結(jié)構(gòu)激光加工技術(shù)方面取得重要突破。團隊提出并實證驗證了一種“模型驅(qū)動三維動態(tài)聚焦激光加工”（3D-DFL）新工藝，通過實時調(diào)控激光焦點，實現(xiàn)復(fù)雜微結(jié)構(gòu)的高保真、高一致性制造。研究成果以題為“Model-driven 3D laser focus shifting for precision fabrication of microstructures in transparent flexible polymers”發(fā)表在機械制造領(lǐng)域國際頂級期刊International Journal of Machine Tools and Manufacture。 研究背景 透明柔性聚合物因其優(yōu)異的光學(xué)透明性、柔韌性和生物相容性，廣泛應(yīng)用于微流控芯片、柔性電子、功能表面和生物醫(yī)學(xué)等前沿領(lǐng)域。三維微結(jié)構(gòu)的引入可以顯著提升其機械性能、光學(xué)特性和流體動力學(xué)性能，從而賦予材料一系列新功能。但由于其柔軟、易變形、導(dǎo)熱性差等特性，導(dǎo)致加工過程中常發(fā)生彈性回彈、熱積聚、工具粘附和結(jié)構(gòu)坍塌，嚴(yán)重影響成型質(zhì)量和重復(fù)性。由此可見，在聚合物材料表面構(gòu)建高精度三維微結(jié)構(gòu)始終面臨巨大挑戰(zhàn)。 目前主流的模板復(fù)制法雖精度高，但流程復(fù)雜、成本高、周期長，難以滿足定制化和快速迭代的需求；3D打印和雙光子聚合等新興方法則在分辨率、適配材料范圍等方面仍存在權(quán)衡；傳統(tǒng)2D激光加工工藝焦平面固定，難以應(yīng)對因加工過程中焦點失配導(dǎo)致的能量沉積不準(zhǔn)確的問題。因此，亟需一種兼顧精度、效率與材料兼容性的微結(jié)構(gòu)加工技術(shù)，以滿足透明柔性聚合物器件快速發(fā)展的迫切需求。 圖1 關(guān)鍵的科學(xué)問題與解決方案 研究內(nèi)容 針對上述挑戰(zhàn)，研究團隊提出了一種通用的三維動態(tài)聚焦激光（3D-DFL）微結(jié)構(gòu)制造策略。該策略通過實時調(diào)整激光焦點深度，動態(tài)補償加工過程中因結(jié)構(gòu)起伏產(chǎn)生的聚焦偏移，從而實現(xiàn)透明聚合物中高一致性、高保真度的三維能量沉積與微結(jié)構(gòu)制造。為支撐3D-DFL策略的實施，建立了激光燒蝕深度預(yù)測模型，適用于不同類型的激光與材料。此外，還系統(tǒng)性研究了動態(tài)聚焦條件下的激光-材料相互作用機制，揭示了在透明介質(zhì)中焦點偏移對表面質(zhì)量、加工精度的影響。研究團隊以聚合物材料聚二甲基硅氧烷（Polydimethylsiloxane，PDMS）和聚對苯二甲酸乙二醇酯（Polyethylene terephthalate，PET）為代表性材料案例開展相關(guān)研究。具體內(nèi)容如下： （1）三維動態(tài)聚焦激光加工系統(tǒng) 本研究構(gòu)建了一套三維動態(tài)聚焦激光加工系統(tǒng)（見圖2），采用1064?nm紅外皮秒激光，先經(jīng)擴束準(zhǔn)直，再由凹-凸透鏡組在線調(diào)節(jié)束散角，通過可調(diào)Z軸聚焦模塊實現(xiàn)±10?mm范圍內(nèi)的焦點實時調(diào)整。系統(tǒng)結(jié)合XY高速振鏡與F-Theta鏡頭，實現(xiàn)非接觸式、高精度三維微結(jié)構(gòu)加工，具備優(yōu)異的聚焦穩(wěn)定性與加工一致性。 圖2 3D動態(tài)聚焦激光加工系統(tǒng)與原理：(a)系統(tǒng)設(shè)置示意圖；(b)動態(tài)調(diào)焦的工作原理；(c)基于擬議激光制造裝置的三軸激光掃描系統(tǒng)的光路模擬結(jié)果 （2）傳統(tǒng)二維激光和三維動態(tài)聚焦激光制造方法 在透明聚合物微結(jié)構(gòu)加工中，傳統(tǒng)2D激光工藝采用固定焦點，通過局部能量調(diào)控實現(xiàn)不同區(qū)域、不同深度的材料去除。這種方式能量分布不均，常導(dǎo)致邊緣呈階梯狀、結(jié)構(gòu)粗糙。研究團隊對比實驗發(fā)現(xiàn)，盡管2D激光能實現(xiàn)一定的三維形貌，但需復(fù)雜能量控制，且難以避免加工瑕疵。而新提出的3D-DFL技術(shù)則通過同步調(diào)節(jié)激光焦點高度，實現(xiàn)每一層精準(zhǔn)加工，保證激光能量均勻分布。與2D激光相比，3D-DFL在構(gòu)建錐形等復(fù)雜結(jié)構(gòu)時展現(xiàn)出更高的光滑度與幾何精度，顯微鏡圖像也證實其邊緣清晰、無缺陷，展現(xiàn)出顯著的加工優(yōu)勢。 圖3 傳統(tǒng)2D激光和3D-DFL工藝對比：（a）固定焦平面2D激光制造工藝示意圖；（b）2D激光加工的錐形微結(jié)構(gòu)的軌跡示意圖（左）、3D視圖（右）和（c）SEM圖像；（d）3D動態(tài)聚焦激光焦平面偏移過程示意圖；（e）3D激光制造錐形微結(jié)構(gòu)軌跡（左）、3D視圖（右）和（f）SEM圖像 （3）理論模型預(yù)測精度與制造精度 理論預(yù)測模型如式（1）所示： 式中，ω為束腰半徑、f為激光頻率、v為掃描速度、d_line為掃描線間距、P為激光功率、F_th為燒蝕閾值、α為材料吸收系數(shù)、ξ為修正系數(shù)。通過實驗獲取材料燒蝕閾值與材料吸收系數(shù)，即可實現(xiàn)精準(zhǔn)預(yù)測燒蝕深度。利用該預(yù)測模型在代表性聚合物材料PDMS和PET上進行了驗證，預(yù)測結(jié)果的平均絕對百分比誤差（MAPE）分別為5.99%和2.68%（見圖4）。 團隊通過設(shè)計不同尺寸的金字塔結(jié)構(gòu)，評估了3D動態(tài)聚焦激光加工的精度。結(jié)果表明結(jié)構(gòu)高度增加會帶來絕對誤差累積，但歸一化后，峰谷（PV值）誤差均低于8%、均方根（RMS）誤差低于3%，展現(xiàn)出優(yōu)異的加工精度（見圖5）。 圖4 理論模型預(yù)測精度分析：(a-c) PDMS材料實驗結(jié)果與預(yù)測值對比；(d-f) PET材料實驗結(jié)果與預(yù)測值對比 圖5 制造精度誤差分析 （4）微結(jié)構(gòu)制造及應(yīng)用 為驗證3D-DFL技術(shù)的靈活性與通用性，研究團隊在具有不同材料屬性（如燒蝕閾值、吸收系數(shù)等）的聚合物基底PDMS和PET上，加工了多種類型的三維微結(jié)構(gòu)，包括凸起與凹陷結(jié)構(gòu)（見圖6–8）。該實驗不僅展示了3D-DFL在多材料體系中的適應(yīng)能力，也對工藝穩(wěn)定性與理論模型的可遷移性進行了驗證。 圖6 PDMS基底上加工凸起和凹陷的不同類型的棱錐和棱臺微結(jié)構(gòu) 圖7 PDMS基地上加工復(fù)雜三維微結(jié)構(gòu) 圖8 PET基地上加工復(fù)雜三維微結(jié)構(gòu) 為了進一步證明所提出方法的實際可行性，展示了多個典型微結(jié)構(gòu)應(yīng)用實例，涵蓋柔性傳感器、微流控與功能表面等領(lǐng)域（如圖9所示）。這些示例體現(xiàn)了方法在實際工程場景中的可擴展性與適應(yīng)性，凸顯其產(chǎn)業(yè)應(yīng)用潛力。 圖9 使用3D-DFL方法制造的微結(jié)構(gòu)應(yīng)用：(a-c) 壓阻式壓力傳感器應(yīng)用；(d-f) 微流控芯片應(yīng)用；(g-h) 液滴操控應(yīng)用 本研究提出的3D-DFL技術(shù)為解決透明材料激光制造中的關(guān)鍵挑戰(zhàn)提供了一種通用解決方案。不僅突破了柔性透明器件高質(zhì)量、定制化加工的技術(shù)瓶頸，還具備拓展至半透明陶瓷、生物材料等難加工材料的潛力。該制造技術(shù)有望廣泛應(yīng)用于下一代可穿戴設(shè)備、智能傳感器和生物醫(yī)療等前沿領(lǐng)域。 研究相關(guān) 該論文以廈門大學(xué)為第一單位，廈門大學(xué)周偉教授、香港理工大學(xué)Chi Fai Cheung（張志輝）教授和王春錦助理教授為共同通訊作者。該論文第一作者是 陳銳博士，現(xiàn)于香港理工大學(xué)超精密加工技術(shù)全國重點實驗室從事博士后研究。 該研究工作得到了國家重點研發(fā)計劃（2023YFB4604600）、國家自然科學(xué)基金杰出青年科學(xué)基金項目（52325507）、國家自然科學(xué)基金區(qū)域創(chuàng)新發(fā)展聯(lián)合基金重點支持項目（U21A20136）、國家自然科學(xué)基金青年科學(xué)基金項目（52205606）和香港理工大學(xué)項目（1-W383, 4-ZZSA, RMAN）的資助和支持。
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