快科技6月30日消息，在衛(wèi)星激光通信中，光束控制精度關(guān)乎通信質(zhì)量，快速反射鏡猶如“精密心臟”。

近日，中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研制出集成角度傳感器的高性能MEMS快反鏡，鏡面尺寸大、封裝體積小，性能優(yōu)良，在激光衛(wèi)星通信方面潛力巨大。

該快反鏡歷經(jīng)近五年才研制成功，采用雙層異構(gòu)集成與晶圓級(jí)鍵合工藝，體積僅一枚1元硬幣大小。

封裝后的MEMS快反鏡

它攻克傳統(tǒng)機(jī)械快反鏡和原有MEMS快反鏡的技術(shù)瓶頸，打造出航天級(jí)產(chǎn)品，指向精度達(dá)μrad量級(jí)，滿足星載應(yīng)用的超高性能指標(biāo)。

受手機(jī)屏幕啟發(fā)，團(tuán)隊(duì)利用硅壓阻應(yīng)變?cè)砑善辖嵌葌鞲衅?，通過(guò)結(jié)構(gòu)創(chuàng)新使靈敏度提升63%，優(yōu)化光束控制精確性。

測(cè)試結(jié)果表明，在特定頻率下，角度精度達(dá)標(biāo)，最大動(dòng)態(tài)表面形變僅2納米。

官方打了一個(gè)比方，這就相當(dāng)于在足球場(chǎng)大小的鏡面上，所有起伏不超過(guò)一根頭發(fā)絲的直徑，滿足遠(yuǎn)距離衛(wèi)星激光通信對(duì)鏡面面型的嚴(yán)苛要求。