縮小尺寸降低成本

Micro-LED已經(jīng)成為當前的熱點，關于Micro-LED未來的發(fā)展，產(chǎn)業(yè)界目前已經(jīng)達成一定的共識，即Micro-LED芯片必須進一步縮小尺寸降低成本，以尋求更廣泛的應用場景，并且在某些市場領域，芯片尺寸必須達到10μm甚至低于5μm。而在微米級尺寸的巨量轉移領域，激光方案應該是將LED晶粒從外延片轉移到最終驅動背板的優(yōu)選方案。

（圖片來源：Coherent相干公司）

成功實現(xiàn)小批量生產(chǎn)

由Coherent相干公司開發(fā)的激光巨量轉移方案已經(jīng)持續(xù)研發(fā)了數(shù)年，并且已成功在客戶端實現(xiàn)小批量生產(chǎn)，同時不斷有新的合作伙伴開始和Coherent相干公司合作進行激光巨量轉移的測試和試生產(chǎn)。

（圖片來源：Coherent相干公司）

準確性和穩(wěn)定性是關鍵

在巨量轉移制程中，決定產(chǎn)量和良率的關鍵是轉移的準確性和穩(wěn)定性。Coherent相干公司的激光巨量轉移系統(tǒng)目前可以支持最小5μm尺寸LED晶粒實現(xiàn)高速高精度的巨量轉移，未來的發(fā)展規(guī)劃是可以實現(xiàn)3μm以下LED晶粒的高速轉移，并且實現(xiàn)較快的轉移速度和理想的良品率，以達到可以支持大批量生產(chǎn)的目標。在轉移穩(wěn)定性方面，現(xiàn)在Coherent相干公司的巨量轉移方案在有效處理區(qū)域內的晶粒轉移均勻度達到了很高的一致性，這樣對于實現(xiàn)更大區(qū)域轉移提供了較大的工藝窗口。

（圖片來源：Coherent相干公司）

（圖片來源：Coherent相干公司）

每秒數(shù)百萬顆芯片傳輸速度

對于高分辨率顯示器，Coherent相干公司的準分子激光系統(tǒng)可以在單個激光脈沖內轉移大量LED晶粒，目前轉移速率已經(jīng)可以達到每秒數(shù)百萬顆芯片的傳輸速度。Coherent相干公司規(guī)劃的短期目標是可以在一小時內完成數(shù)臺8K電視面板的巨量轉移工藝。每臺8K電視面板約相當于1億顆RGB LED芯片，這意味著巨量轉移工藝需要在保證轉移精度和均勻度的前提下至少達到每秒千萬顆的傳輸速度。這是一項充滿挑戰(zhàn)的工作，同時也令Micro-LED產(chǎn)業(yè)界充滿期待。